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特殊基板——凹形基板
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参数
技术指标
材料
按实际需求
检测方式
Zygo干涉仪
⾯型精度
≤1/10λ
表面粗糙度
≤1A(Ra)
表面质量
20-10
尺寸公差
±0.01mm
倒角
0.2*45°