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窗口(355nm&1064nm&10.6um)
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参数
技术指标
材料
熔石英/硒化锌
面型精度
反射面型:PV优于1/15λ@632.8nm,RMS优于1/60 λ@632.8nm;透射面型:PV优于1/15λ@632.8nm;
平行
≤2秒
粗糙度
Rq≤0.2nm
光洁度
10-5/20-10
加工尺寸
φ1200mm/φ400mm
镀膜指标
R<0.1%@1064nm/R<0.5%@106um
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